FAB8 是位于台湾新竹,工艺节点为0.18μm及以上成熟制程,8英寸晶圆厂,服务于消费电子和工业控制领域。
如图所示,一个 8 英寸的晶圆,实际直径为 200mm±0.5mm(准确的英寸和毫米的换算为 1 inch = 25.4mm)
- Chip Size:设计上 Die Size 是 2.60mm × 3.25mm,Scribe Line 是 65um,那么 CHIP SIZE = 2.665mm × 3.315 mm
- Reticle Size:一套 MASK 上面印了 9 x 9 个 DIE,
- Ring Edge:留了 3mm,考虑到边缘区域工艺稳定性差,厚度和应力不一致,切割(dicing)时容易崩边、裂片,光刻胶在晶圆边缘形成波浪边,造成图形缺陷等问题
- Notch Reserved Distance:在 2点钟 和 8点钟 位置,留了2个 Notch,晶圆在设备上放置时,2点和8点方向往往用于 机械手抓取(robot arm gripping) 或 平衡掩膜对准方向;这些区域靠近 Notch 或 Flat 区域,对称放置光刻对准标记时,会在 2点和8点钟方向留出空间,以避免影响正常 die 排列;此外,这两个方向常用作 Process Control Monitor (PCM) 区域,放置测试结构
那么粗略可以计算得出一片 wafer 上放多少个 DIE(方便估算的话可以拿3W除以CHIPSIZE后乘以92%即可)
π(2200mm−3mm)2/(2.665mm×3.315mm)×0.92≈3124
